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氧化鋯氧量分析儀的使用及維護
半導(dǎo)體/液晶/電子元件相關(guān)應(yīng)用半導(dǎo)體、電子元件用氧分析儀
MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860

測量原理  | 氧化鋯濃縮電池供電  | ||
形狀  | 分離式(轉(zhuǎn)換器:壁掛式,傳感器:直插式)  | ||
顯示方式  | 數(shù)字4位顯示(濃度顯示)  | ||
測量范圍  | 0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2 10 -20 ~ 10 -0 atm  | ||
重復(fù)性  | 在 ± 0.5% FS 0-1% 范圍內(nèi)或更多  | ||
測量點數(shù)  | 1-8  | ||
樣氣條件  | 壓力  | 10 -3~ 200 KPa(絕壓)  | |
流量  | 0.5-5,000 mL/min 或 0 mL/min(自然擴散狀態(tài)的測量)  | ||
濕度  | 露點低于環(huán)境溫度  | ||
溫度  | 0-100℃  | ||
其他  | 不含腐蝕性氣體(氟系氣體、氯系氣體、硫系氣體等)、含有機硅的氣體、可燃成分(包括瓦斯)、油、水。  | ||
比較氣體  | 氣氛  | ||
錄音機輸出  | 僅傳輸輸出  | ||
傳輸輸出  | RS-232C  | ||
報警輸出  | 沒有任何  | ||
熱身時間  | 6分鐘內(nèi)  | ||
尺寸  | MS-500(控制器)  | 92 (W) x 44 (H) x 120 (D)(不包括突出部分)  | |
MS-510(轉(zhuǎn)換器)  | 100 (W) x 40 (H) x 88 (D)(不包括突出部分)  | ||
傳感器單元  | SD16NW  | 全長100mm(感應(yīng)部分Φ11×39,本體部分Φ40×51)  | |
SD25NW  | 全長100mm(感應(yīng)部分Φ11×42,本體部分Φ40×48)  | ||
SD40NW  | 全長100mm(感應(yīng)部分Φ11×41,本體部分Φ40×49)  | ||
大量的  | MS-500(控制器)  | 約0.6Kg  | |
MS-510(換能器)  | 約0.5kg  | ||
傳感器單元  | SD16NW  | 約0.2Kg  | |
SD25NW  | 約0.2Kg  | ||
SD40NW  | 約0.35Kg  | ||
外部連接  | 真空法蘭之一(NW16、25、40)  | ||
使用的電源  | 24VDC ± 10%  | ||